한국과학기술연구원(KIST) 주병권, 이윤희, 오명환 박사팀은 ‘실리콘 칩형 전자방출원제작 시 알루미늄 희생층을 사용해 누설전류를 효과적으로 감소시키는 방법’에 관한 연구로 지난달 25일 서울대학교에서 열린 대한전기학회 정기총회에서 우수논문상을 수상했다.
수상 논문은 메시전자방출원인 micro-tip으로부터 보다 나은 전자방출 특성을 얻기 위해 소자의 전 면적에 DLC(diamond-like-carbon)를 코팅하는 경우 게이트 절연막의 측면 등 불필요한 부분에 증착된 DLC에 의해서 증가될 수 있는 누설 전류를 알루미늄 희생층을 사용해 불필요한 부분에 코딩된 DLC를 제거함으로써 누설 전류를 효과적으로 감소시키는 방법을 실험적으로 다루고 있다.