[한국에너지신문] 반도체 디스플레이용 특수가스 전문 기업 SK머티리얼즈(대표이사 장용호)가 경북 영주시 본사에 통합분석센터를 구축하고 반도체 소재 연구개발 역량을 강화한다.
지난 8월 산학연 전문가와의 공동 연구를 통해 새로운 비즈니스 모델을 발굴하는 ‘IT 소재 솔루션 플랫폼’을 출범했던 SK머티리얼즈는 통합분석센터 구축을 통해 소재 분석 역량을 극대화하고자 했다. 통합분석센터에서는 SK머티리얼즈의 주력 제품인 삼불화질소(NF3), 육불화텅스텐(WH6) 등을 비롯한 특수가스는 물론, 반도체 박막증착 공정에 쓰이는 전구체(Precursor)와 반도체 공정용 웨트 케미칼(Wet Chemical)에 대한 정밀 분석을 수행해 고객사의 요구에 맞는 제품을 공급할 수 있게 된다.
삼불화질소(NF3)는 반도체 공정에서 챔버(Chamber) 내 불순물을 제거하는 세정용 특수가스로 SK머티리얼즈는 세계 시장 점유율 40% 이상을 차지하며 생산 및 판매 세계 1위를 기록하고 있다. 육불화텅스텐(WH6)은 반도체 박막증착 공정에서 사용되는 특수가스다. 반도체 박막증착 공정은 반도체 회로 간의 구분, 연결, 보호 역할을 하는 얇은 층 형태의 ‘박막’을 반도체 웨이퍼 위에 균일하게 쌓는 공정이다. 전구체는 반도체 회로 위에 여러 화합물을 균일하게 증착시키는 특수가스이며, 웨트 케미칼은 반도체 제조에 사용되는 고객 특화형 세정액, 식각액 등을 통칭한다.
한국표준과학연구원, 한국분석과학회 등 연구기관과의 협력을 통해 신규 소재에 대한 분석 방법을 선제적으로 확보하여 적절한 시기에 신제품을 개발하고 사업을 원활하게 추진할 수 있도록 지원할 계획이다. 이와 함께 SK머티리얼즈는 SK이노베이션, SK케미칼, SKC 등 그룹 내 화학 산업 계열사와 협업 네트워크를 만들어 소재 분석 역량을 고도화해 나갈 방침이다.
SK머티리얼즈는 제품 개발과 사업화에 어려움을 겪는 중소기업을 대상으로 소재 분석 컨설팅을 제공하고, 누구나 이용 가능한 오픈 랩(Open Lab) 운영을 통해 SK머티리얼즈가 보유한 분석설비 인프라를 공유한다. 이 회사는 28일 경북 영주시 본사에서 박기선 연구개발본부장을 비롯한 임직원과 연구기관장, 협력업체장 등 주요 관계자들이 참석한 가운데 통합분석센터 출범식을 열고 상호 협력 및 활성화 방안을 논의했다.
