국가핵융합연구소로부터 플라즈마 기술을 이전받은 국내 중소기업 경원테크(대표이사 서광원)가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어의 국산화에 성공해 삼성전자에 공급한다.

‘K-Speed’는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각(박막이 형성된 표면을 깎아 불필요한 부분을 제거해 회로 패턴이 드러나도록 하는 과정)및 증착(실리콘 기판위에 얇은 막을 입히는 과정)공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어로 사전에 시뮬레이션해 실제 공정 결과를 예측할 수 있는 프로그램이다.

경원테크는 핵융합연구소, 표준연구소, 전북대, 부산대 등과 산·학·연 협력연구를 통해 개발에 성공했으며 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결했다.

K-Speed 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능하게 돼 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다.

K-Speed는 GPU 기반의 병렬화 성공을 통해 기존의 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상의 획기적인 계산시간 단축에 성공했다.

기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는데 반해 K-Speed는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 정확하게 연산하는 것으로 확인됐다.

K-Speed는 더 빠르고 정확한 새로운 반도체 제조 공정개발과 반도체 구조개발 등의 신기술 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

또 반도체 산업 소프트웨어 국산화를 통해 반도체 공정에서 발생할 수 있는 기술적 난제 해결을 위한 기반기술 확보와 외국 소프트웨어 사용으로 인한 국내 제조사 공정기술의 해외 유출을 방지해 국내 반도체 산업의 글로벌 경쟁력 확보에도 기여 할 것으로 예상된다.

이번 성공은 핵융합연구소의 ‘플라즈마 물성데이터 측정기술’ 등의 기술이전 및 산학연 협력을 통한 산업화 지원과 함께 외국 소프트웨어의 단순 수입 및 배급 역할에 안주하지 않고 국내 기술력으로 세계 최고 수준의 소프트웨어 개발을 추진해 온 경원테크의 자기혁신 노력이 기반이 됐다.

K-Speed는 앞으로 다수의 국내외 기업으로의 판매가 예상되며 경원테크는 K-Speed 판매로 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다.

서광원 경원테크 대표는 “출연연구소와 지속적인 연구협력으로 국내외 반도체 공정해석 소프트웨어 시장에 진출할 수 있게 됐다”며 “향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈과 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합연구소에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것”이라고 밝혔다.

변국영 기자 다른기사 보기