반도체 클린공정용 5kW급 비접촉 전원장치 개발
반도체 클린공정용 5kW급 비접촉 전원장치 개발
  • 한국에너지신문
  • 승인 2002.03.05 00:00
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전기硏·신성이엔지 공동개발<2002-03-04>
한국전기연구원(원장 권영한) 구대현 박사팀은 (주)신성이엔지(대표 이완근) 및 전주대와 공동으로 차세대 PDP LCD 및 반도체의 클린공정에 필수 부품인 스토커용 5kW급 전원장치 개발에 성공했다.
지난 2000년 6월부터 올해 1월말까지 18개월 동안 3억원의 연구비를 투입해 개발한 비접촉 전원장치는 기존 제품에 비해 직선 이동 중 전원케이블 없이 자기유도에 의한 비접촉으로 전원을 공급함으로써 팹 내 청정도를 높일 수 있다.
이같은 특징으로 이 제품은 반도체 공정 뿐만아니라 산업, 교통 및 의료분야 등 여러 분야에 다양하게 활용할 수 있는 우수한 제품으로 평가받고 있다.
비접촉 전원장치는 고청정 반도체 스토커의 핵심부품임에도 불구하고 지금까지 국산화가 이뤄지지 않아 국내 반도체 업체들이 높은 가격으로 일본으로부터 전량 수입해 오는 실정이다.
비접촉 전원장치를 적용한 스토커의 세계 시장은 2002년 현재 1,000억원 정도에 달하고 있으며 반도체 제조 공정상 고도의 청정을 유지해야 하기 때문에 최근 들어 반도체 메이커들이 기존의 전원케이블을 이용한 전원장치를 비접촉 전원장치로 대체하고 있다.
이에 따라 오는 2005년에는 세계시장이 2,300억원 이상으로 확대될 전망이다.
신성이엔지의 경우 이미 삼성전자와 13대의 스토커 납품계약을 했고 LG-Philips 및 미국 PRI사와도 계약을 진행하고 있어 올해에만 내수 150억원에 수출 50억원 등 모두 200억원 정도의 매출실적을 내다보고 있다.<변국영>


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