전기연구소 전력반도체 연구그룹 김은동 박사팀은 (주)케이이씨와 공동으로 지난 97년 12월부터 2000년 8월까지 총9억4,000만원의 개발비를 투입, 이 제품을 개발했다.
초대용량 펄스파워 반도체스위치소자는 전기집진기, 상수도 고도정수처리용 오존발생기, 플라즈마 대기오염처리장치 등 환경설비에 사용할 수 있어 환경기술분야에서 핵심적인 역할을 할 수 있을 것으로 기대되고 있다.
전기연구소는 이 반도체의 고전압화와 스위칭 특성 개선을 통해 내년 1억달러에 이를 것으로 예상되는 반도체 건식식각장치용 진공관 스위치를 대체할 수 있도록 할 계획이다.
또한 기존 반도체에 비해 구동지연현상이 매우 적은 특성을 이용, 세계 최초로 RSD를 이용한 자동차용 고정밀 점화시스템 및 카메라 스트로보 점등시스템 등의 개발에도 활용할 방침이다.
전기연구소는 이번 초대용량 펄스파워 반도체를 개발함으로써 지금까지 해외에 의존해왔던 플라즈마 관련 반도체 제조장치 분야에서 국제 경쟁력을 확보할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
한편 전기연구소는 전기이용 환경기술 분야에서 세계적인 기술경쟁력을 확보하기 위해 이번에 개발한 소자를 이용, 세계 최초로 화력발전소 전기집진기용 펄스전원 장치를 개발하고 있다.
<변국영 기자>
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